公司于2022年6月完成了集成電路高純四氟化硅氣體研發(fā)并全面投產,實現(xiàn)年產能300噸高純四氟化硅氣體,純度高達99.999%,成為國內第一家且唯一一家能夠大批次生產集成電路一高純四氟化硅氣體的企業(yè)。 高純四氟化硅(SiF4)作為電子工業(yè)重要原料之一,具有較高的氟硅比,是硅基半導體離子注入制程的關鍵成分,被廣泛應用于光纖、半導體或太陽能電池的生產。